BS ISO 16700-2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.图像放大校准指南

作者:标准资料网 时间:2024-05-25 08:37:57  浏览:9794   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Microbeamanalysis-Scanningelectronmicroscopy-Guidelinesforcalibratingimagemagnification
【原文标准名称】:微电子束分析.扫描电子显微镜.图像放大校准指南
【标准号】:BSISO16700-2004
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2004-09-29
【实施或试行日期】:2004-09-29
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Analysis;Analysismethods;Calibration;Definition;Definitions;Electronbeams;Electronmicroscopes;Imageproduction;Images;Magnification;Magnificationfactor;Methodsofanalysis;Microanalysis;Scanningelectronmicroscopes;Spectroscopy
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesamethodforcalibratingthemagnificationofimagesgeneratedbyascanningelectronmicroscope(SEM)usinganappropriatereferencematerial.Thismethodislimitedtomagnificationsdeterminedbytheavailablesizerangeofstructuresinthecalibratingreferencematerial.ThisInternationalStandarddoesnotapplytothededicatedcriticaldimensionmeasurementSEM.
【中国标准分类号】:N33
【国际标准分类号】:37_020
【页数】:26P.;A4
【正文语种】:英语